產品介紹
HT 無塵室專用 電子級PTFE 氣動雙隔膜泵浦
HT 無塵室專用 電子級PTFE 氣動雙隔膜泵浦
YTS
高純度原生 電子級PTFE 適用 6 種尺寸，附含各式專門配件及選擇
專門設計用於傳輸高腐蝕性化學品，包括用於製造電子元件，太陽能電池板以及半導體製造的無塵室式製程中之化學漿料運輸。
新改進的泵浦設計，減少空氣消耗，並採用新型Looped C®氣動閥，提高可靠性，延長零件壽命。內嵌式尺寸與占地面積。
充分螺栓和扭矩，利用內置的設計特點，泵浦可抵抗材質蠕變和降低隨時間推移形成洩漏的可能。此泵設計旨在確保低顆粒計數和降低過程中金屬離子污染的機會。
1000級無塵室製造、包裝和最後雙層袋裝。
注意: 全新設計為減少空氣耗損，與新型Looped C air氣室搭配使用，提高可靠性語言長零件壽命，插入式主體和零件，緊湊而堅固，氣室無需潤滑油，具可靠性和高效能運作，完全密合螺栓和扭力設計，可減少金屬離子污染的機會，確保洩漏的情況發生。
常見選項: E系列，電磁螺線管泵，FLARETEK連接巨型法蘭適用於有些型號，塑料塗層或PTFE塗層不鏽鋼316扭矩版，泵浦維修套件。
流量圖
尺寸圖
